廢氣凈化設備的定期檢查是針對實施預防維修的生產廢氣處理設備在一定時期內所進行的較為全面的一般性檢査，間隔時間較長（多在半年以上），檢査方法多靠主觀感覺與經驗，目的在于保持廢氣處理設備的規定性能和正常運轉。

而狀態監測是以關鍵的重要的廢氣處理設備（如生產聯動線、大型、稀有廢氣處理設備，動力廢氣處理設備等）為主要對象，檢測范圍較定期檢查小，要使用專門的檢測儀器針對事先確定的監測點進行間斷或連續的監測檢查，目的在于定量地掌握廢氣處理設備的異常征兆和劣化的動態參數，判斷廢氣處理設備的技術狀態及損傷部位和原因，以決定相應的維修措施。

　　廢氣凈化設備狀態監測是廢氣處理設備診斷技術的具體實施，是一種掌握廢氣處理設備動態特性的檢查技術。它包括了各種主要的非破壞性檢查技術，如振動理論，噪音控制，振動監測，應力監測，腐蝕監測，泄漏監測，溫度監測，磨粒測試（鐵譜技術），光譜分析及其他各種物理監測技術等。

　　廢氣處理設備狀態監測是實施廢氣處理設備狀態維修的基礎，狀態維修根據廢氣處理設備檢査與狀態監測結果，確定廢氣處理設備的維修方式。所以，實行廢氣處理設備狀態監測與狀態維修的優點有：

　?、贉p少因機械故障引起的災害；

　?、谠黾訌U氣處理設備運轉時間；

　?、蹨p少維修時間；

　?、芴狍{生產效率；

　?、萏岣弋a品和服務質量。